Choose your country / language

PACVD

Plazmové deponovanie chemických výparov

PACVD
Čo je povlakovanie?

Spoločnosť Oerlikon Balzers vyrába bezkovové uhlíkové povlaky s využitím vysokofrekvenčného procesu PACVD.

Nastavenie pre tento proces je podobné ako pri naprašovaní, ktoré sa často používa v kombinácii s CVD. V PACVD je do vákuovej komory zavedený plyn obsahujúci povlakové prvky a je roznietený výboj napájaný striedavým napätím.

Toto vytvára voľné uhlíkové a vodíkové atómy (ióny a radikály), ktoré vytvárajú hustý povlak na nástrojoch a komponentoch. Vlastnosti povlaku môžu byť ovplyvnené zmenou použitého napätia.

  1. Argón
  2. Reaktívny plyn
  3. Komponenty/Nástroje
  4. Zdroj planárneho magnetrónového odparovania (povlakovací materiál)
  5. Vysokofrekvenčné pripojenie
  6. Vákuová pumpa

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up