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PACVD プラズマアシスト化学蒸着

PACVD

PACVD コーティングとは?

エリコンバルザースは高周波 PACVD プロセスを使用した非金属のカーボンコーティングを生産しています。

このプロセスのセットアップは CVD を組み合わせて頻繁に使用されるスパッタリングと類似しています。PACVD では、コーティング要素を含むガスが真空チャンバー内に流入し、AC 電圧により放電されて点火されます。

これにより遊離炭素と水素原子 (イオンおよびラジカル) が作り出され、工具や部品上に密度の高いコーティングが成膜されます。コーティング特性は加える電圧によって変化させることができます。

  1. 1.アルゴン
  2. 2.反応性ガス
  3. 3.部品 / 工具
  4. 4.平板マグネトロン蒸着源 (コーティング材)
  5. 5.高周波接続
  6. 6.真空ポンプ
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