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PACVD

PACVD 코팅이란 무엇입니까?

올리콘발저스는 고주파 PACVD 공정을 사용하여 무금속 카본 코팅을 생산합니다.

이 공정의 구성은 CVD와 함께 자주 사용되는 스퍼터링의 구성과 유사합니다. PACVD에서는 코팅 요소가 함유된 가스가 진공실로 유입된 후, AC 전압에 의해 방전이 점화됩니다.

그 결과, 공구와 부품에서 밀도가 높은 코팅을 형성하는 유리 탄소 원자와 수소 원자 (이온 및 활성 입자)가 생성됩니다. 코팅의 특성은 가해지는 전압에 따라 영향을 받을 수 있습니다.

  1. 아르곤
  2.  활성 가스
  3. 부품/공구
  4. 평면 마그네트론 증발원 (코팅 재료)
  5. 고주파 연결
  6. 진공 펌프

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