Czym są powłoki PACVD?
Oerlikon Balzers wytwarza niemetaliczne powłoki węglowe z wykorzystaniem procesu PACVD o dużej częstotliwości.
Warunki tego procesu są zbliżone do napylania, często wykorzystywanego w połączeniu z CVD. W procesie PACVD gaz zawierający materiał powłoki jest wprowadzany do komory próżniowej, następuje wyładowanie z wykorzystaniem prądu przemiennego.
W ten sposób powstają wolne atomy węgla i wodoru (jony i rodniki), tworzące gęstą powłokę na narzędziach i komponentach. Na właściwości powlekania można wpływać, zmieniając przyłożone napięcie.
