Choose your country / language

PACVD
การเคลือบผิว PACVD คืออะไร?

เออร์ลิคอน บัลเซอร์ส สามารถสร้างการเคลือบผิวด้วยคาร์บอนปราศจากโลหะได้ โดยใช้กระบวนการ PACVD ความถี่สูง

กระบวนการนี้มีลักษณะคล้ายกับการทำสปัตเตอริ่ง ซึ่งมักจะถูกนำมาใช้ร่วมกับกระบวนการ CVD โดยสำหรับการเคลือบผิว PACVD ก๊าซที่มีองค์ประกอบสารเคลือบจะถูกจ่ายเข้าไปภายในห้องสุญญากาศ จากนั้น ทำการคายประจุโดยใช้แรงดันไฟฟ้ากระแสสลับ

กระบวนการดังกล่าวจะทำให้เกิดอะตอมคาร์บอนและไฮโดรเจนอิสระ (ไอออนและอนุมูล) ซึ่งจะตกเคลือบเป็นชั้นเคลือบผิวที่มีความหนาแน่นสูงลงบนเครื่องมือและชิ้นงาน การปรับคุณสมบัติของการเคลือบผิวสามารถทำได้โดยการปรับระดับแรงดันไฟฟ้า

  1. อาร์กอน
  2. ก๊าซที่ไวต่อปฏิกิริยา
  3. ชิ้นงาน/เครื่องมือ
  4. ตัวสร้างการระเหยแบบพลานาร์แมกนีตรอน (สารเคลือบ)
  5. จุดเชื่อมต่อความถี่สูง
  6. ปั๊มสุญญากาศ

ข้อเสนอแนะหรือคำถาม? ติดต่อกับพวกเรา!

keyboard_arrow_up