การเคลือบผิว PACVD คืออะไร?
เออร์ลิคอน บัลเซอร์ส สามารถสร้างการเคลือบผิวด้วยคาร์บอนปราศจากโลหะได้ โดยใช้กระบวนการ PACVD ความถี่สูง
กระบวนการนี้มีลักษณะคล้ายกับการทำสปัตเตอริ่ง ซึ่งมักจะถูกนำมาใช้ร่วมกับกระบวนการ CVD โดยสำหรับการเคลือบผิว PACVD ก๊าซที่มีองค์ประกอบสารเคลือบจะถูกจ่ายเข้าไปภายในห้องสุญญากาศ จากนั้น ทำการคายประจุโดยใช้แรงดันไฟฟ้ากระแสสลับ
กระบวนการดังกล่าวจะทำให้เกิดอะตอมคาร์บอนและไฮโดรเจนอิสระ (ไอออนและอนุมูล) ซึ่งจะตกเคลือบเป็นชั้นเคลือบผิวที่มีความหนาแน่นสูงลงบนเครื่องมือและชิ้นงาน การปรับคุณสมบัติของการเคลือบผิวสามารถทำได้โดยการปรับระดับแรงดันไฟฟ้า
