O que é revestimento PACVD?
Para a elaboração de revestimentos de carbono isentos de metal, a Oerlikon Balzers emprega o processo PACVD de alta frequência.
A configuração utilizada neste processo é similar à seguida para a pulverização catódica usada em combinação com CVD. Na PACVD, é introduzido um gás que contém os elementos de revestimento na câmara a vácuo e é aplicada uma tensão AC de alta frequência.
Isso cria átomos de carbono e hidrogênio (íons e radicais) que formam um revestimento denso nas ferramentas e nos componentes. A variação na tensão aplicada influencia as propriedades do revestimento.
