¿Qué es el recubrimiento PACVD?
Oerlikon Balzers produce recubrimientos de carbono sin metales usando el proceso PACVD de alta frecuencia.
La configuración para este proceso es similar a la de la pulverización por bombardeo iónico, la cual a menudo se utiliza en combinación con CVD. En la PACVD un gas que contiene los elementos del recubrimiento se introduce en la cámara de vacío y se inicia una descarga alimentada por tensión de corriente alterna.
Esto crea átomos de carbono e hidrógeno libres (iones y radicales) que forman un denso recubrimiento sobre las herramientas y componentes. Las propiedades de recubrimiento pueden modificarse si se varía la tensión aplicada.
