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PACVD

¿Qué es el recubrimiento PACVD?

Oerlikon Balzers produce recubrimientos de carbono sin metales usando el proceso PACVD de alta frecuencia.

La configuración para este proceso es similar a la de la pulverización por bombardeo iónico, la cual a menudo se utiliza en combinación con CVD. En la PACVD un gas que contiene los elementos del recubrimiento se introduce en la cámara de vacío y se inicia una descarga alimentada por tensión de corriente alterna.

Esto crea átomos de carbono e hidrógeno libres (iones y radicales) que forman un denso recubrimiento sobre las herramientas y componentes. Las propiedades de recubrimiento pueden modificarse si se varía la tensión aplicada.

  1. Argón
  2.  Gas reactivo
  3. Componentes/herramientas
  4. Fuente de evaporación magnetrón planar (material de recubrimiento)
  5. Conexión de alta frecuencia
  6. Bomba de vacío

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