Enhanced Sputtering - การทำสปัตเตอริ่งแบบประสิทธิภาพสูง

การทำสปัตเตอริ่งแบบประสิทธิภาพสูงจะใช้การคายประจุอาร์คแรงดันไฟฟ้าต่ำที่บริเวณตรงกลางของห้องสุญญากาศ เพื่อสร้างพลาสม่าที่มีความเข้มข้นสูงกว่ากระบวนการสปัตเตอริ่งทั่วไปหลายเท่า ดังนั้น จึงสามารถทำการไอออไนเซชั่นอนุภาคในสถานะก๊าซได้สูงกว่า