ผลิตภัณฑ์เคลือบผิวคล้ายเพชร (Diamond-Like Coating หรือ DLC) เช่น BALINIT DYLYN จะช่วยปรับปรุงคุณสมบัติต่างๆ ให้กับเครื่องมือที่ต้องสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์และระบบกำหนดตำแหน่ง เช่น ความเสียดทานที่ต่ำลง การยึดเกาะที่ดีเยี่ยม และคุณสมบัติการนำความร้อนที่ดีขึ้น โดยที่ไม่ทำให้เกิดการปนเปื้อนกับแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่เสียหายได้ง่าย
ยิ่งการเคลือบผิว DLC มีประสิทธิภาพสูงขึ้นและตอบความต้องการแต่ละด้านได้ดีขึ้น ต้นทุนการเป็นเจ้าของก็จะยิ่งลดลง ความสามารถและความเชี่ยวชาญด้านกระบวนการทำงานช่วยให้เราสามารถออกแบบคุณสมบัติของการเคลือบผิว DLC ของเราได้อย่างตรงตามความต้องการเฉพาะทางของลูกค้า คุณสมบัติความแข็งสูง ค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานต่ำ และความต้านทานการสึกหรอที่ดีเยี่ยมช่วยลดการเกิดอนุภาคลงได้อย่างมาก ส่งผลให้การผลิตมีประสิทธิภาพมากขึ้น ซึ่งถือเป็นปัจจัยสำคัญ โดยเฉพาะอย่างยิ่งกับการผลิตชิ้นงานที่มีขนาดเล็ก นอกจากนั้นแล้ว ชิ้นส่วนที่ผ่านการเคลือบผิวยังให้คุณภาพที่สม่ำเสมอทุกครั้ง กระบวนการผลิตจึงมีความเชื่อถือได้มากยิ่งขึ้น
เออร์ลิคอน บัลเซอร์สเชี่ยวชาญเป็นพิเศษในด้านการพัฒนาผลิตภัณฑ์เคลือบผิวที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับงานเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งสามารถตอบโจทย์ความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ หนึ่งในตัวอย่างของผลิตภัณฑ์เคลือบผิวสำหรับอุตสาหกรรมนี้ ได้แก่ การเคลือบผิวรูปแบบใหม่ที่ทนต่อฤทธิ์กัดของสารเคมีที่มีฟลูออรีน ซึ่งเหมาะสำหรับงานต่างๆ เช่น แผ่นเวเฟอร์ หัวจับอิเล็กโทรสแตติก แท่นรับ ชุดอุปกรณ์กัด หัวจ่ายแก๊ส และชิ้นส่วนของปั๊มสุญญากาศ
