Choose your country / language

Arc evaporation - การระเหยด้วยอาร์ค

กระบวนการนี้เป็นการสร้างอาร์คที่มีช่วงเส้นผ่านศูนย์กลางตั้งแต่ไม่กี่ไมครอนไปจนถึงหลายสิบไมครอนไปบนพื้นผิวของสารเคลือบที่เป็นโลหะของแข็ง ส่งผลให้สารดังกล่าวระเหย กระบวนการนี้ใช้กระแสและความหนาแน่นกำลังระดับสูง ส่งผลให้สารที่ถูกระเหยกลายเป็นไอออนได้เกือบสมบูรณ์ทั้งหมด ดังนั้น จึงทำให้เกิดพลาสม่าที่มีพลังงานสูง

ไอออนของโลหะจะผสมกับก๊าซที่ไวต่อปฏิกิริยา ซึ่งถูกจ่ายเข้าสู่กระบวนการ จากนั้น วิ่งเข้าหาเครื่องมือหรือชิ้นงานเป้าหมายในสถานะพลังงานสูง และตกเคลือบลงบนเครื่องมือหรือชิ้นงาน โดยมีลักษณะเป็นชั้นเคลือบผิวบางที่มีคุณสมบัติการยึดเกาะสูง

Arc evaporation process

Arc evaporation process
  1. อาร์กอน
  2. ก๊าซที่ไวต่อปฏิกิริยา
  3. แหล่งกำเนิดอาร์ค (สารเคลือบ และแผ่นจุดกำเนิดอาร์คด้านหลัง)
  4. ชิ้นงาน/เครื่องมือ
  5. ปั๊มสุญญากาศ
keyboard_arrow_up