Choose your country / language

หัวจ่ายแก๊สสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หัวจ่ายแก๊สสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

Y₂O₃ สามารถลดการเกิดและการปนเปื้อนของอนุภาค AlF ที่ไม่ต้องการได้ BALINIT DYLYN ยังสามารถใช้สำหรับการปรับสัมประสิทธิ์การแผ่รังสีความร้อนได้เช่นกันในบางกรณี

โซลูชั่น วัสดุเคลือบผิว เทคโนโลยีการเคลือบผิว ความแข็งของผิวเคลือบ HIT [GPa] สัมประสิทธิ์ของความเสียดทาน (ของแห้ง) vs. เหล็ก อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน [°C] อุณหภูมิกระบวนการ [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
ดาวน์โหลด

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up