Y₂O₃ สามารถลดการเกิดและการปนเปื้อนของอนุภาค AlF ที่ไม่ต้องการได้ BALINIT DYLYN ยังสามารถใช้สำหรับการปรับสัมประสิทธิ์การแผ่รังสีความร้อนได้เช่นกันในบางกรณี
Choose your country / language
Global
Americas
-
Argentina
-
Brazil
-
Canada
-
Mexico
-
USA
Europe
-
Austria
-
Belgium
-
Czech Republic
-
Finland
-
France
-
Germany
-
Hungary
-
Italy
-
Luxembourg
-
Netherlands
-
Poland
-
Portugal
-
Romania
-
Slovakia
-
Turkey
-
United Kingdom
Asia
-
China
-
India
-
Indonesia
-
Japan
-
Korea
-
Malaysia
-
Philippines
-
Singapore
-
Vietnam
หัวจ่ายแก๊สสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
| โซลูชั่น | วัสดุเคลือบผิว | เทคโนโลยีการเคลือบผิว | ความแข็งของผิวเคลือบ HIT [GPa] | สัมประสิทธิ์ของความเสียดทาน (ของแห้ง) vs. เหล็ก | อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน [°C] | อุณหภูมิกระบวนการ [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 |
