Choose your country / language

แผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ หัวจับ และแท่นรับ

แผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ หัวจับ และแท่นรับ

ผลิตภัณฑ์เคลือบผิว เช่น BALINIT DYLYN ช่วยลดการสึกหรอและการปนเปื้อน รวมทั้งยังสามารถปรับแต่งคุณสมบัติทางไฟฟ้าได้ ในขณะที่ผลิตภัณฑ์รุ่นอื่นๆ จะมีส่วนผสมของ Y₂O₃ เพื่อเพิ่มความต้านทานการกัด รวมทั้งยังมี TiN และ CrN ที่ให้คุณสมบัติการนำไฟฟ้าและการป้องกันการสึกหรอ

โซลูชั่น วัสดุเคลือบผิว เทคโนโลยีการเคลือบผิว ความแข็งของผิวเคลือบ HIT [GPa] สัมประสิทธิ์ของความเสียดทาน (ของแห้ง) vs. เหล็ก อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน [°C] อุณหภูมิกระบวนการ [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
ดาวน์โหลด
TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

กลับไปที่ด้านบน keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up