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강화 스퍼터링

강화 스퍼터링은 챔버 중심의 저전압 아크 방전을 사용하여 기본 스퍼터링 절차보다 몇 배 높은 플라스마 밀도를 생성하며, 그에 따라 가스 단계에서 훨씬 높은 수준의 입자 이온화를 달성할 수 있습니다.

  1. 1. 전자 빔 소스
  2. 2. 아르곤
  3. 3. 활성 가스
  4. 4. 평면 마그네트론 증발원 (코팅 재료)
  5. 5. 부품/공구
  6. 6. 저전압 아크 방전
  7. 7. 보조 양극
  8. 8. 진공 펌프

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