Choose your country / language

METAPLAS.DOMINO kila flex อุปกรณ์ PVD ที่มีมาตรฐานเทคโนโลยีสูงสุดและมีความยืดหยุ่นสูงสุด

METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex

METAPLAS.DOMINO kila flex ตอบสนองความต้องการทั้งหมดของเครื่องจักรการผลิตที่ยืดหยุ่น มุ่งเน้นลูกค้า การบำรุงรักษาต่ำ ซึ่งทำให้เปิดประตูทุกบานสำหรับคำขอพิเศษ ดังนั้น ห้อง PVD ทรงแปดเหลี่ยมที่เข้าถึงได้อย่างอิสระพร้อมประตู 2 บานสำหรับการขนถ่ายจึงเป็นแพลตฟอร์มที่เหมาะสำหรับระบบอัตโนมัติและใช้งานง่ายพร้อมการบำรุงรักษาที่ลดลง ในเวลาเดียวกัน นอกจากเทคโนโลยีอาร์คและสปัตเตอร์แล้ว ระบบสารตั้งต้น PACVD ยังสามารถนำมาใช้และรวมเข้ากับระบบได้อีกด้วย

  • เทคโนโลยี APA Arc, HiPIMS sputtering หรือ HI3 บนหน้าแปลนสูงสุด 6 หน้าแปลน
  • เทคโนโลยีการกัดแบบใหม่ ADVANCED AEGD
  • ห้องสเตนเลสสตีลระบายความร้อนด้วยน้ำผนังสองชั้น สามารถเข้าถึงได้จากทั้งสองด้านด้วยประตูห้อง 2 บาน
  • การเปิดและปิดประตูโหลดอัตโนมัติสำหรับกระบวนการทำงานอัตโนมัติ
  • สารตั้งต้นสำหรับกระบวนการ PACVD ต่างๆ รวมถึงกระบวนการไนไตรดิ้งด้วย
  • การปรับเปลี่ยนเทคโนโลยี และระบบวิเคราะห์ต่างๆ (พลาสมา) สามารถทำได้ตามความต้องการของลูกค้า

อุปกรณ์ที่มีพื้นที่และสองประตู

รุ่น Flex ได้รับการออกแบบมาอย่างสมบูรณ์แบบสำหรับการรวมเทคโนโลยีที่พัฒนาขึ้นใหม่ในอนาคต เช่นเดียวกับการรวมเข้ากับกระบวนการผลิตอัตโนมัติ

คุณสมบัติ METAPLAS.DOMINO kila flex
ขนาดงานเคลือบที่ใช้ได้ Ø 620 mm x 700 mm
เทคโนโลยีที่ใช้ได้ Arc, สปัตเตอร์, HiPIMS, HI3, ไนไตรดิ้ง
เครื่องระเหย APA arc 4 to 16
แมกนีตรอนสปัตเตอร์ 1 to 6
แหล่งพลังงานที่มีอยู่ DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
แหล่ง BIAS Bipolar pulse, middle frequency
การทำความสะอาด Plasma พร้อมกับ AEGD ขั้นสูง
ที่บรรจุสารเคลือบผิวมาตรฐาน
(สามารถเพิ่มความต้องการได้)
9 เพลา

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up