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エンハンスドスパッタリング

エンハンスドスパッタリング

エンハンスドスパッタリングでは、チャンバーの中心部に低電圧のアーク放電を採用しており、通常のスパッタリングよりも何倍も強いプラズマが生成されるため、ガスを使用する場合よりもはるかに高くイオン化できます。

  1. 1.電子ビームソース
  2. 2.アルゴン
  3. 3.反応性ガス
  4. 4.平板マグネトロン蒸着ソース (コーティング材)
  5. 5.部品 / 工具・金型
  6. 6.低電圧アーク放電
  7. 7.補助アノード
  8. 8.真空ポンプ
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