增强溅射在腔室中央采用低电压电弧放电，以创造几倍于基本溅射工艺的等离子密度，因此可在气相中产生更高程度的粒子电离。
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增强溅射
通过提高电离度来改善涂层质量
- 电子束源
- 氩气
- 反应性气体
- 二维磁控蒸发源（涂层材料）
- 零部件/工具
- 低压电弧放电
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