Choose your country / language

Halbleiter showerhead

Y₂O₃ kann unerwünschte AIF-Partikelbildung und Verunreinigung verringern. BALINIT DYLYN kann sogar dem Emissionsgrad bei manchen Anwendungen entsprechen.

Schichtoptionen Schichtmaterial Beschichtungstechnologie Schichthärte HIT[GPa] Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl Max. Anw.- Temp. [°C] Prozesstemperatur [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
Download

Feedback oder Fragen? Nehmen Sie Kontakt mit uns auf!

keyboard_arrow_up