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Rociadores para semiconductores

Y2O3 puede reducir la no deseada generación de partículas AIF y la contaminación debido a las mismas. BALINIT DYLYN puede incluso ajustar la emisividad en ciertas aplicaciones.

Solution Material de recubrimiento Estructura del recubrimiento Dureza recubrimiento HIT [GPa] Coeficiente de fricción (en seco) frente al acero Temp. máx. de trabajo [°C] Temperatura de proceso [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
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