Y₂O₃ puede reducir la no deseada generación de partículas AIF y la contaminación debido a las mismas. BALINIT DYLYN puede incluso ajustar la emisividad en ciertas aplicaciones.
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Rociadores para semiconductores
| Solución | Material de recubrimiento | Tecnología de recubrimiento | Dureza recubrimiento HIT [GPa] | Coeficiente de fricción (en seco) frente al acero | Temp. máx. de trabajo [°C] | Temperatura de proceso [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 |
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