Y₂O₃可以减少多余的AlF 颗粒的产生和污染。BALINIT DYLYN 甚至可以在某些特定应用中匹配发射率。
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半导体喷头
| 解决方案 | 涂层材料 | 涂层技术 | 涂层硬度HIT [GPa] | 摩擦系数（干）与钢的比较 | 最高工作温度[°C] | 工艺温度[°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 |
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