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半导体喷头

Y2O3可以减少多余的AlF 颗粒的产生和污染。BALINIT DYLYN 甚至可以在某些特定应用中匹配发射率。

解决方案 涂层材料 涂层技术 涂层硬度HIT [GPa] 摩擦系数(干)与钢的比较 最高工作温度[°C] 工艺温度[°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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