Y₂O₃ kann unerwünschte AIF-Partikelbildung und Verunreinigung verringern. BALINIT DYLYN kann sogar dem Emissionsgrad bei manchen Anwendungen entsprechen.
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Halbleiter-Showerheads (Duschköpfe)
| Schichtoptionen | Schichtmaterial | Beschichtungstechnologie | Schichthärte HIT[GPa] | Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl | Max. Anw.- Temp. [°C] | Prozesstemperatur [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 |
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