Choose your country / language

Y2O3 can reduce unwanted AlF particle generation and contamination. BALINIT DYLYN can even match emissivity in certain applications.

Semiconductor showerheads
Řešení Povlakový materiál Technologie povlakování Tvrdost povlaku HIT [GPa] Součinitel tření (za sucha) vs. ocel Max. provozní teplota [°C] Teplota procesu [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
stáhnout

Zpětná vazba nebo dotazy? Kontaktujte nás!

keyboard_arrow_up