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반도체 샤워헤드

반도체 샤워헤드

Y₂O₃은 원하지 않는 AlF 입자 생성과 오염을 줄일 수 있습니다. BALINIT DYLYN 코팅은 특정 용도에서 방사율을 맞출 수도 있습니다.

솔루션 코팅 재료 코팅 기술 코팅 경도 HIT [GPa] 마찰 계수 (건식) 대 강철 최대 서비스 온도 [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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