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반도체 샤워헤드

Y2O3은 원하지 않는 AlF 입자 생성과 오염을 줄일 수 있습니다. BALINIT DYLYN 코팅은 특정 용도에서 방사율을 맞출 수도 있습니다.

Solution Coating material Coating technology 코팅 경도 HIT [GPa] Coefficient of friction (dry) vs. steel Max. service temp. [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
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