W tym procesie łuk o średnicy od kilku do kilku dziesiątych mikrometra wyładowuje się na litym, metalicznym materiale źródłowym, powodując jego parowanie. Wykorzystanie wysokich prądów i dużej gęstości mocy powoduje niemal kompletną jonizację odparowanego materiału, a tym samym kształtowanie się wysoko energetycznej plazmy.
Jony metalu wymieszane z reagującym gazem, wprowadzanym do komory, uderzają w narzędzia lub komponenty z dużą energią i osadzają się jako cienkie i silnie przylegające powłoki.
