W tym procesie łuk elektryczny o średnicy rzędu dziesiątych części mikrometra jest prowadzony nad materiałem targetu, powodując jego odparowanie. Wysokie natężenia prądu i duża gęstości mocy powodują całkowitą jonizację uwolnionego materiału, a tym samym tworzenie wysokoenergetycznej plazmy.
Jony metalu łączą się z reaktywnym gazem, który jest wprowadzany do komory, bombardując powierzchnie narzędzi lub komponentów z dużą energią. W ten sposób formowana jest cienka i przylegająca powłoka.
Oerlikon Balzers udoskonalił proces odparowywania łukowego poprzez wprowadzenie innowacyjnej technologii Advanced Arc Technology (AAT). Ta zmiana poprawia osiągi i wydajność procesu powlekania oraz parametry wytwarzanych powłok. Więcej informacji nt. AAT znajduje się tutaj.