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Évaporation par arc

Dans ce procédé, un arc d'un diamètre de quelques microns seulement est dirigé vers le matériau métallique solide à déposer et provoque son évaporation. Du fait des courants élevés et des densités d'énergie utilisées, le matériau d'évaporation est presque totalement ionisé et forme un plasma à haute énergie.

Les ions métalliques se combinent au gaz réactif introduit dans l'enceinte et viennent frapper énergiquement les outils ou composants à traiter. Ils se déposent sur les substrats sous la forme d'une couche mince très adhérente.

Évaporation par arc procédé

Évaporation par arc procédé
  1. Argon
  2. Gaz réactif
  3. Sources de l'arc (matériau à déposer et plaque de fixation)
  4. Composants / outils
  5. Pompe à vide

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