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アーク蒸着

アーク蒸着

アーク蒸着工程では、直径が数ミクロンからわずか十分の数ミクロンまでのアークが固形金属コーティング材の上に流れ、コーティング材を蒸発させます。蒸発したコーティング材は、使用した大電流や高電力密度によって大部分がイオン化され、高エネルギーのプラズマが形成されます。

この金属イオンは、チャンバー内の反応性ガスと結合して、高エネルギーでターゲット工具や部品に印加し、薄くて密着性の高い膜として蒸着します。

 

 

アーク蒸着法

  1. 1.アルゴン
  2. 2.反応性ガス
  3. 3.アークソース (コーティング材とバッキングプレート)
  4. 4.部品 / 工具・金型
  5. 5.真空ポンプ
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