Arc evaporation is a process for depositing thin, extremely hard, highly adhesive coatings on tools and components.
アーク蒸着工程では、直径が数ミクロンからわずか十分の数ミクロンまでのアークが固形金属コーティング材の上に流れ、コーティング材を蒸発させます。蒸発したコーティング材は、使用した大電流や高電力密度によって大部分がイオン化され、高エネルギーのプラズマが形成されます。
この金属イオンは、チャンバー内の反応性ガスと結合して、高エネルギーでターゲット工具や部品に印加し、薄くて密着性の高い膜として蒸着します。
Oerlikon Balzers has further refined Arc Evaporation with its innovative Advanced Arc Technology (AAT). This advancement improves the overall coating process, boosting performance and efficiency. Learn more about the benefits of AAT.
