アーク蒸着

アーク蒸着工程では、直径が数ミクロンからわずか十分の数ミクロンまでのアークが固形金属コーティング材の上に流れ、コーティング材を蒸発させます。蒸発したコーティング材は、使用した大電流や高電力密度によって大部分がイオン化され、高エネルギーのプラズマが形成されます。

この金属イオンは、チャンバー内の反応性ガスと結合して、高エネルギーでターゲット工具や部品に印加し、薄くて密着性の高い膜として蒸着します。