Choose your country / language

oerlikon.com
BALORA HALONA

BALORA HALONA Överlägset korrosionsskydd för långvarig prestanda hos halvledare

Komponent i etsningskammare för halvledare

BALORA® HALONA är en PVD-beläggning som är utvecklad för krävande plasmaetsning och erbjuder exceptionell kemisk beständighet och slitstyrka – vilket uppfyller nuvarande och framtida behov inom halvledarindustrin.

  • Konstruerad för att vara praktiskt taget icke-reaktiv mot fluorbaserade och kemiska plasmaprocesser.
  • Idealisk för etsningsprocesser under 10 nm på både plana och komplexa kammarkomponenter
  • Ger låg partikelgenerering, förlängd komponentlivslängd, hög avkastning och minskade ägandekostnader (CoO)
  • 100 % tät beläggning

Alternativa produkter

Kontakta oss

Oerlikon Balzers Coating Sweden AB; Gesällvägen 6, SE-145 63 Norsborg, Sverige

© Copyright 2026 OC Oerlikon Management AG

Tillbaka till början keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up