BALORA® HALONA es un recubrimiento PVD diseñado para el grabado por plasma de alta exigencia, que ofrece una resistencia química y a la abrasión excepcional, satisfaciendo las necesidades actuales y futuras de los semiconductores.
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BALORA HALONA Protección Superior Contra la Corrosión para un Rendimiento Duradero de los Semiconductores
- Diseñado para ser prácticamente inerte a las reacciones químicas del plasma de flúor
- Ideal para procesos de grabado por debajo de 10 nm en componentes de cámara tanto planos como de formas complejas
- Ofrece una baja generación de partículas, una mayor vida útil de los componentes, un alto rendimiento y un menor coste de propiedad (CoO).
- Recubrimiento 100 % denso
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