O BALORA® HALONA é um revestimento PVD concebido para gravação por plasma em condições exigentes, oferecendo uma resistência química e à abrasão excecional — satisfazendo as necessidades atuais e futuras do setor dos semicondutores.
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BALORA HALONA Proteção superior contra a corrosão para um desempenho duradouro dos semicondutores
- Concebido para ser praticamente inerte face às reações químicas do plasma de flúor
- Ideal para processos de gravação com dimensões inferiores a 10 nm em componentes de câmara, tanto planos como de formas complexas
- Proporciona uma baixa geração de partículas, maior durabilidade dos componentes, elevado rendimento e redução do custo de propriedade (CoO)
- Revestimento 100% denso