Choose your country / language

BALORA HALONA

BALORA HALONA Protecție superioară împotriva coroziunii pentru performanță de lungă durată a semiconductorilor

Componentă pentru cameră de gravare a semiconductorilor

BALORA® HALONA este o acoperire PVD concepută pentru gravarea cu plasmă cu densitate mare, oferind o rezistență excepțională la substanțe chimice și abraziune – satisfăcând nevoile actuale și viitoare ale semiconductorilor.

  • Proiectat pentru a fi practic inert la reacții chimice cu plasma fluorurată
  • Ideal pentru procese de gravare sub 10 nm atât pe componente planare, cât și pe componente cu forme complexe
  • Oferă o generare redusă de particule, o durată de viață extinsă a componentelor, un randament ridicat și un cost de proprietate (CoO) redus
  • Acoperire cu 100% densitate

© Copyright 2026 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up