BALORA® HALONA je PVD povlak vyvinutý pre náročné plazmové leptanie, ktorý ponúka výnimočnú chemickú odolnosť a odolnosť proti oderu – spĺňa súčasné aj budúce požiadavky v oblasti polovodičov.
Choose your country / language
Global
Americas
-
Argentina
-
Brazil
-
Canada
-
Mexico
-
USA
Europe
-
Austria
-
Belgium
-
Czech Republic
-
Finland
-
France
-
Germany
-
Hungary
-
Italy
-
Luxembourg
-
Netherlands
-
Poland
-
Portugal
-
Romania
-
Slovakia
-
Sweden
-
Turkey
-
United Kingdom
Asia
-
China
-
India
-
Indonesia
-
Japan
-
Korea
-
Malaysia
-
Philippines
-
Singapore
-
Vietnam
BALORA HALONA Vynikajúca ochrana proti korózii pre dlhodobý výkon polovodičov
- Engineered to be virtually unreactive to fluorine plasma chemistries
- Ideal for sub-10 nm etch processes across both planar and complex-shaped chamber components
- Delivers low particle generation, extended component lifetime, high yield, and reduced cost of ownership (CoO)
- 100% dense coating
© Copyright 2026 OC Oerlikon Management AG
Späť na začiatok keyboard_arrow_up