BALORA® HALONA är en PVD-beläggning som är utvecklad för krävande plasmaetsning och erbjuder exceptionell kemisk beständighet och slitstyrka – vilket uppfyller nuvarande och framtida behov inom halvledarindustrin.
Choose your country / language
Global
Americas
-
Argentina
-
Brazil
-
Canada
-
Mexico
-
USA
Europe
-
Austria
-
Belgium
-
Czech Republic
-
Finland
-
France
-
Germany
-
Hungary
-
Italy
-
Luxembourg
-
Netherlands
-
Poland
-
Portugal
-
Romania
-
Slovakia
-
Sweden
-
Turkey
-
United Kingdom
Asia
-
China
-
India
-
Indonesia
-
Japan
-
Korea
-
Malaysia
-
Philippines
-
Singapore
-
Vietnam
BALORA HALONA Överlägset korrosionsskydd för långvarig prestanda hos halvledare
- Konstruerad för att vara praktiskt taget icke-reaktiv mot fluorbaserade och kemiska plasmaprocesser.
- Idealisk för etsningsprocesser under 10 nm på både plana och komplexa kammarkomponenter
- Ger låg partikelgenerering, förlängd komponentlivslängd, hög avkastning och minskade ägandekostnader (CoO)
- 100 % tät beläggning