Choose your country / language

BALORA HALONA การปกป้องการกัดกร่อนที่เหนือกว่าเพื่อประสิทธิภาพของเซมิคอนดักเตอร์ที่ยาวนาน

ส่วนประกอบห้องกัดเซาะเซมิคอนดักเตอร์

BALORA® HALONA คือวิศวกรรมสารเคลือบ PVD ที่ออกแบบมาสำหรับการกัดด้วยพลาสมาที่มีความต้องการสูง ให้ความทนทานต่อสารเคมีและการเสียดสีเป็นพิเศษ ตอบสนองต่อความต้องการของกลุ่มเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบันและอนาคต

ออกแบบมาให้แทบไม่ทำปฏิกิริยากับสารเคมีพลาสมาฟลูออรีน
เหมาะสำหรับกระบวนการกัดที่มีขนาดเล็กกว่า 10 นาโนเมตร ทั้งในส่วนประกอบที่เป็นแบบระนาบและแบบห้องที่มีรูปทรงซับซ้อน
ให้การสร้างอนุภาคต่ำ อายุการใช้งานของส่วนประกอบยาวนานขึ้น ผลผลิตสูงขึ้น สามารถลดต้นทุนโดยรวม
สารเคลือบมีความหนาแน่น 100%

© Copyright 2026 OC Oerlikon Management AG