불소 플라즈마 화학 반응에 거의 반응하지 않도록 설계 평면 및 복잡한 형상의 챔버 부품 모두에서 10nm 이하 에칭 공정에 이상적 파티클 발생 최소화, 부품 수명 연장, 높은 수율 확보 및 총 소유 비용(CoO) 절감 효과 제공 100% 고밀도 코팅