BALORA HALONA 面向先进等离子刻蚀环境的高稳定性抗腐蚀PVD涂层

BALORA® HALONA 是一款针对等离子刻蚀环境打造的 PVD 功能涂层，具备优异的抗氟腐蚀与抗颗粒侵蚀性能，可提升关键腔体部件的稳定性和使用寿命，满足先进及下一代半导体制程需求。