BALORA® HALONA é um revestimento PVD desenvolvido para processos exigentes de plasma etching, oferecendo resistência excepcional a produtos químicos e abrasão, atendendo às necessidades atuais e futuras da indústria de semicondutores.
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BALORA HALONA Proteção Superior contra Corrosão para um Desempenho Duradouro em Semicondutores
- Projetado para ser praticamente inerte às químicas de plasma de flúor
- Ideal para processos de etching abaixo de 10 nm em componentes de câmara planos ou com geometrias complexas
- Gera baixa quantidade de partículas, prolonga a vida útil dos componentes, aumenta o rendimento e reduz o custo total de propriedade (CoO)
- Revestimento 100% denso
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