Choose your country / language

BALORA HALONA

BALORA HALONA Uzun Ömürlü Yarı İletken Performansı için Üstün Korozyon Koruması

Yarı iletken aşındırma odası bileşeni

BALORA® HALONA, yüksek talep gören plazma aşındırma için tasarlanmış, olağanüstü kimyasal ve aşınma direnci sunan ve mevcut ve gelecekteki yarı iletken ihtiyaçlarını karşılayan bir PVD kaplamadır.

  • Flor plazma kimyasallarına neredeyse tepkisiz olacak şekilde tasarlanmıştır
  • Hem düzlemsel hem de karmaşık şekilli hazne bileşenlerinde 10 nm'nin altındaki aşındırma işlemleri için idealdir
  • Düşük parçacık oluşumu, uzatılmış bileşen ömrü, yüksek verim ve düşük işletme maliyeti (CoO) sağlar
  • %100 yoğun kaplama