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METAPLAS.DOMINO kila flex O equipamento PVD com o mais alto padrão de tecnologia e máxima flexibilidade

METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex

A METAPLAS.DOMINO kila flex atende a todos os requisitos de uma flexível, orientada para o cliente e máquina de produção de baixa manutenção, que mantém todas as portas abertas para solicitações especiais. Portanto, a câmara PVD octogonal de acesso livre com 2 portas para carga e descarga é uma plataforma ideal para automação e de fácil operação com manutenção reduzida. E ao mesmo tempo, em adicional a tecnologia por arco e Sputtering, os sistemas precursor podem também ser usados e integrados no sistema.

  • Tecnologia APA Arc, HiPIMS sputtering ou HI3 em até 6 flanges
  • Nova tecnologia etching ADVANCED AEGD
  • Câmara de aço inoxidável refrigerada a água de parede dupla acessível de ambos os lados com 2 portas de câmara
  • Abertura e fechamento automático da porta de carregamento por processo automático
  • Precursores por vários processos de PACVD, também em combinação com um processo de nitretação
  • Retrofitting de diversas tecnologias e sistemas de análises (Plasma) dependendo dos requisitos do cliente

Equipamento com câmara livre e duas portas

As versões “flex” foram projetadas para uma integração futura de tecnologias recém-desenvolvidas, como a integração com os processos de produção automatizados.

Propriedades METAPLAS.DOMINO kila flex
Volume de revestimento útil Ø 620 mm x 700 mm
Módulos de revestimento disponíveis Arco, sublimação catódica, HiPIMS, HI3, Nitretação
Evaporadores por arco APA 4 a 16
Fontes de sublimação catódica magnetrônica 1 a 6
Fontes de alimentação disponíveis DC, DC pulso, frequência média (MF), HiPIMS, (RF a pedido)
BIAS disponível Pulso bipolar, frequência média
Limpeza com plasma Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD
Tabela de substrato padrão
(outros, a pedido)
9 eixos

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