La equipo DOMINO kila flex cumple con todos los requisitos de máquina de producción flexible, orientado al cliente y de bajo mantenimiento que mantiene todas las puertas abiertas para posibles solicitudes especiales. La cámara de PVD octogonal de fácil acceso para su carga y descarga es una plataforma ideal para la automatización y la operación sencilla, con mantenimiento reducido. Además de tecnologías de arco y de sputtering, también pueden utilizarse sistemas precursores PACVD e integrarse en el sistema.
- APA Arc, HiPIMS sputtering o tecnología hybrid con hasta 6 flancos
- Nueva tecnología de grabado ADVANCED AEGD
- Cámara de doble pared y refrigerada con agua accesible de ambos lados con dos puertas de cámara
- Apertura y cierre automáticos de la puerta de carga para procesos automatizados
- Precursores para varios procesos PACVD, también en combinación con un proceso de nitruración
- Reequipación con varias tecnologías y sistemas de análisis (plasma) dependiendo de las necesidades del cliente
-
LOADY (vehículo guiado automatizado) para la carga, el recubrimiento y la descarga automatizados, disponible como opción
| Propiedades | DOMINO kila flex |
|---|---|
| Equipment type | flex (2 chamber doors) |
| Volumen útil de recubrimiento | Ø 620 mm x 700 mm |
| Módulos de recubrimiento disponibles | Arco, Pulverización, HiPIMS, Hybrid, Nitruración |
| Evaporadores de arco APA | 4 a 16 |
| Fuentes de pulverización del magnetrón | 1 a 6 |
| Fuentes de alimentación disponibles | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| BIAS disponible | Bipolar pulse, middle frequency |
| Limpieza de plasma | Todos los sistemas equipados con el proceso de grabado por energía AEGD patentado |
| Tabla de substrato estándar (otras por solicitud) |
9 ejes |