Choose your country / language

METAPLAS.DOMINO kila flex

La METAPLAS.DOMINO kila flex cumple con todos los requisitos de una máquina de producción flexible, orientada al cliente y de bajo mantenimiento, que mantiene todas las puertas abiertas para solicitudes especiales. Por lo tanto, la cámara de PVD octogonal de libre acceso con 2 puertas para carga y descarga es una plataforma ideal para la automatización y fácil operación con mantenimiento reducido. Al mismo tiempo, además de las tecnologías de arco y pulverización catódica, los sistemas precursores de PACVD también pueden utilizarse e integrarse en el sistema.

  • Nueva tecnología de etching ADVANCED AEGD
  • Cámara de acero inoxidable refrigerada por agua de doble pared accesible desde ambos lados con puertas de 2 cámaras
  • Apertura y cierre automático de puerta de carga para proceso de automatización
  • Precursores para varios procesos PACVD, también en combinación con un proceso de nitruración
  • Retrofitting de diversas tecnologías y sistemas de análisis (plasma) en función de los requisitos del cliente

Equipo con cámara libre y dos puertas

Las versiones flex están perfectamente diseñadas para la futura integración de tecnología recién desarrollada, así como la integración en procesos de producción automatizada.

Propiedades METAPLAS.DOMINO kila flex/th>
Volumen útil de recubrimiento Ø 620 mm x 700 mm
Módulos de recubrimiento disponibles Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
Evaporadores de arco APA 4 a 16
Fuentes de pulverización del magnetrón 1 a 6
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
Limpieza de plasma All systems equipped with patented power etching process AEGD
Tabla de substrato estándar
(otras por solicitud)
9 ejes

¿Comentarios o preguntas? ¡Contacte con nosotros!

keyboard_arrow_up