METAPLAS.DOMINO kila flex ตอบสนองความต้องการทั้งหมดของเครื่องจักรการผลิตที่ยืดหยุ่น มุ่งเน้นลูกค้า การบำรุงรักษาต่ำ ซึ่งทำให้เปิดประตูทุกบานสำหรับคำขอพิเศษ ดังนั้น ห้อง PVD ทรงแปดเหลี่ยมที่เข้าถึงได้อย่างอิสระพร้อมประตู 2 บานสำหรับการขนถ่ายจึงเป็นแพลตฟอร์มที่เหมาะสำหรับระบบอัตโนมัติและใช้งานง่ายพร้อมการบำรุงรักษาที่ลดลง ในเวลาเดียวกัน นอกจากเทคโนโลยีอาร์คและสปัตเตอร์แล้ว ระบบสารตั้งต้น PACVD ยังสามารถนำมาใช้และรวมเข้ากับระบบได้อีกด้วย
- เทคโนโลยี APA Arc, HiPIMS sputtering หรือ HI3 บนหน้าแปลนสูงสุด 6 หน้าแปลน
- เทคโนโลยีการกัดแบบใหม่ ADVANCED AEGD
- ห้องสเตนเลสสตีลระบายความร้อนด้วยน้ำผนังสองชั้น สามารถเข้าถึงได้จากทั้งสองด้านด้วยประตูห้อง 2 บาน
- การเปิดและปิดประตูโหลดอัตโนมัติสำหรับกระบวนการทำงานอัตโนมัติ
- สารตั้งต้นสำหรับกระบวนการ PACVD ต่างๆ รวมถึงกระบวนการไนไตรดิ้งด้วย
- การปรับเปลี่ยนเทคโนโลยี และระบบวิเคราะห์ต่างๆ (พลาสมา) สามารถทำได้ตามความต้องการของลูกค้า
