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METAPLAS.DOMINO kila flex Die PVD-Anlage mit höchstem Technologie-Standard und maximaler Flexibilität

METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex

Die METAPLAS.DOMINO kila flex erfüllt alle Anforderungen an eine flexible, kundenorientierte, wartungsarme Produktionsanlage, die für Sonderwünsche alle Türen offen lässt. Deshalb ist die frei zugängliche oktogonale PVD-Kammer mit zwei Türen zum Be- und Entladen eine ideale Plattform zur Automatisierung und einfachen Bedienung mit minimalem Wartungsaufwand. Gleichzeitig können neben Arc- und Sputter-Technologien auch PACVD-Precursorsysteme zum Einsatz kommen und in die Anlage integriert werden.

  • APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder HI3-Technologie an bis zu 6 Flanschen
  • Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
  • Doppelwandige, wassergekühlte Edelstahlkammer beidseitig zugänglich mit 2 Kammertüren
  • Automatisches Öffnen und Schließen der Beladetür für Automatisierungsprozeß
  • Precursoren für verschiedene PACVD-Prozesse auch in Kombination mit Nitrierprozess
  • Nachrüstung unterschiedlichster Technologien und Analysesystemen (Plasma) je nach Kundenanforderungen

Anlage mit freistehender Kammer und zwei Türen

Die flex-Versionen sind bereits heute auf die künftige Einbindung neu entwickelter Technologien sowie auf die Integration in automatisierte Produktionsprozesse ausgelegt.

Eigenschaften METAPLAS.DOMINO kila flex
Verwendbares Beschichtungsvolumen Ø 620 mm x 700 mm
Erhältliche Beschichtungsmodule Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
ARC-Verdampfer 4 bis 16
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 6
Verfügbare Leistungsversorgungen DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage)
Verfügbare BIAS bipolar gepulst, Mittelfrequenz
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
9 Spindeln
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