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METAPLAS.DOMINO kila flex 具有较高技术标准和灵活性的 PVD 设备

METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex

METAPLAS.DOMINO kila flex满足所有要求,包括灵活、以客户为导向、低维护成本,同时为满足特殊要求打开所有技术大门。因此,八角形 PVD 腔体带有 2 个用于装载和卸载被涂层产品的门,是实现自动化、易于操作和减少维护的理想平台。同时,除了电弧和溅射技术外,还可以配备 PACVD 需要的前驱气体模块并将其集成到系统中。

  • 可以配备多达6个的APA Arc、HiPIMS 溅射或 HI3 模块法兰
  • 新蚀刻技术—— ADVANCED AEGD
  • 双层水冷不锈钢腔体可从两侧进入,带有 2 个腔门
  • 自动化过程的装载门自动打开和关闭
  • 适用于各种 PACVD 工艺的前趋气体模块,也可与氮化工艺相结合
  • 根据客户要求改装各种技术模块和等离子体检测系统

设备带有自由腔体和两扇门

Flex版本是对未来新开发的技术进行整合的完美设计,例如整合进自动化生产工艺

属性 METAPLAS.DOMINO kila flex
可用涂层容量 Ø 620 mm x 700 mm
可用涂层模块 Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA 电弧蒸发器 4 - 16
磁控溅射源 1 - 6
可用电源 DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
可设置偏压 Bipolar pulse, middle frequency
等离子清洁 All systems equipped with patented power etching process AEGD
标准工作台(其他可根据需求) 9 轴

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

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