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METAPLAS.DOMINO kila flex L'équipement PVD avec le plus haut standard technologique et une flexibilité maximale

METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex

La METAPLAS.DOMINO kila flex répond à toutes les exigences d'une machine de production flexible, orientée vers le client et nécessitant peu d'entretien, qui garde toutes les portes ouvertes pour les demandes spéciales. Ainsi, la chambre PVD octogonale librement accessible, avec deux portes pour le chargement et le déchargement, est une plate-forme idéale pour l'automatisation et la facilité d'utilisation avec une maintenance réduite. Parallèlement, outre les technologies d'arc et de pulvérisation cathodique, des systèmes de précurseurs PACVD peuvent également être utilisés et intégrés dans le système.

  • Arc APA, pulvérisation HiPIMS ou technologie HI3 sur un maximum de 6 brides
  • Nouvelle technologie de gravure ADVANCED AEGD
  • Chambre en acier inoxydable à double paroi, refroidie à l'eau et accessible des deux côtés par deux portes de chambre
  • Ouverture et fermeture automatiques de la porte de chargement pour le processus d'automatisation
  • Précurseurs pour divers procédés PACVD, également en combinaison avec un procédé de nitruration
  • Adaptation de diverses technologies et systèmes d'analyse (plasma) en fonction des besoins du client

Equipment with free chamber and two doors

The flex versions are perfectly designed for future integration of newly developed technology as well as for example integration into automated production processes.

Properties METAPLAS.DOMINO kila flex
Usable coating volume Ø 620 mm x 700 mm
Available coating modules Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA arc evaporators 4 to 16
Magnetron sputter sources 1 to 6
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
Plasma cleaning All systems equipped with patented power etching process AEGD
Standard substrate table
(others upon request)
9 shafts

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

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