Choose your country / language

Coatings for semiconductors Specialized thin film solutions for the highly sensitive semiconductor industry

Oerlikon Balzers‘ tailored diamond-like coating (DLC) solutions such as BALINIT DYLYN, endow wafer contact tooling and positioning systems with beneficial properties including low friction, excellent adhesion, and high thermal conductivity, without contaminating sensitive semiconductor wafers.

Coatings for semiconductors

Bir DLC kaplama bireysel gereksinimleri ne kadar iyi karşılarsa, toplam sahip olma maliyeti de o kadar düşük olur. Yeteneklerimiz ve uygulama uzmanlığımız, DLC kaplamalarımızın özelliklerini müşterilerin özel taleplerine göre hassas bir şekilde uyarlamamızı sağlar. Yüksek sertlik, düşük sürtünme katsayısı ve mükemmel aşınma direnci, partikül oluşumunu önemli ölçüde azaltmaya yardımcı olur ve böylece özellikle daha küçük özellik boyutları açısından önemli bir faktör olan yüksek verimli üretime olanak tanır. Kaplanmış parçaların garantili tekrarlanabilir kalitesi, tutarlı proses güvenilirliği sağlar.

Oerlikon Balzers, yarı iletken endüstrisinin son derece katı ihtiyaçlarını karşılayan özel yarı iletken kaplamaların sağlanmasında uzmanlaşmıştır. Bu tür birçok çözüm arasında sadece bir örnek: wafer e-chucks, kaideler, aşındırma kitleri, duş başlıkları ve vakum pompası bileşenleri gibi uygulamalar için florlu kimyasallarla aşındırmaya dirençli tamamen yeni bir kaplama.

keyboard_arrow_up