Diamantartige Beschichtungslösungen (DLC) von Oerlikon Balzers, wie beispielsweise BALINIT DYLYN, verleihen Werkzeugen, die in direktem Kontakt zu Wafern stehen, sowie Positioniersystemen vorteilhafte Eigenschaften, wie geringe Reibung, sehr gute Haftung und Wärmeleitfähigkeit, ohne dabei die empfindlichen Halbleiter-Wafer zu beschädigen.
Je besser eine DLC-Beschichtung individuelle Anforderungen erfüllt, umso geringer sind die Gesamtbetriebskosten. Wir können die Eigenschaften unserer DLC-Beschichtungen präzise an die individuellen Kundenbedürfnisse anpassen. Die hohe Härte, der geringe Reibungskoeffizient und die ausgezeichnete Verschleißfestigkeit tragen dazu bei, Partikelbildung zu reduzieren und dadurch den Ertrag zu erhöhen - speziell bei kleineren Strukturgrößen ein wichtiger Faktor. Die garantiert reproduzierbare Qualität der beschichteten Teile ermöglicht konsistente Prozesssicherheit.
Oerlikon Balzers spezialisiert sich auf die Bereitstellung von individuellen Beschichtungen und erfüllt damit die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie. Beispielsweise entwickelte Oerlikon Balzers eine Beschichtung, die gegen Verätzung durch fluorierte Chemikalien resistent ist. Sie eignet sich für Anwendungen wie Wafer e-Chucks (Haltevorrichtungen), Sockel, Ätzausrüstungen, Showerheads (Duschköpfe) und Komponenten für Vakuumpumpen.