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Recubrimientos para semiconductores Soluciones especializadas de capa fina para el altamente sensible sector de los semiconductores

Las soluciones de recubrimiento como diamante (DLC) a medida de Oerlikon Balzers, como BALINIT DYLYN dotan al utillaje de contacto de las obleas y los sistemas de posicionamiento de propiedades ventajosas, incluidas una baja fricción, una excelente adherencia y gran conductividad térmica, sin contaminar las sensibles obleas semiconductoras.

Recubrimientos para semiconductores

Cuanto mejor cumpla los requisitos individuales un recubrimiento DLC, menor será el coste de propiedad. Nuestras capacidades y experiencia nos permiten adaptar con precisión las propiedades de nuestros recubrimientos DLC a las demandas concretas de los clientes. Elevada dureza, un bajo coeficiente de fricción y una excelente resistencia al desgaste ayudan a reducir notablemente la formación de partículas y con ello permite una fabricación de gran productividad; un factor clave, especialmente cuando hablamos de los tamaños más pequeños. Calidad reproducible garantizada de las piezas recubiertas lo que proporciona una fiabilidad del proceso constante.

Oerlikon Balzers se especializa en la provisión de recubrimientos a medida para semiconductores que satisfacen las necesidades tan rigurosas del sector de los semiconductores. Solo un ejemplo de entre muchos: un recubrimiento completamente nuevo que es resistente al ataque ácido por productos fluorados, para aplicaciones que incluyen obleas portas, pedestales, kits de ataque ácido, rociadores y componentes de bombas de vacío.

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