Choose your country / language

Semiconductor wafer, chucks and pedestals

Products include BALINIT DYLYN for wear and contamination reduction and tunable electrical properties. Others include Y2O3 for etch-resistance, as well as TiN and CrN for wear and electrical conductivity

Javasolt megoldás Bevonat anyaga Bevonatolási technológia Bevonat keménység HIT [GPa] Súrlódási együttható acéllal (szárazon) Max. üzemi hőm. [°C] Eljárás hőmérséklete
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
letöltés
TiN Arc 30 ±3 ~0,6 600 < 500

Visszajelzése vagy kérdése van? Lépjen kapcsolatba velünk!

keyboard_arrow_up