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Pastilhas, mandris e pedestais semicondutores

Produtos incluem BALINIT DYLYN para redução de desgaste e contaminação e propriedades elétricas de plataformas giratórias. Outras incluem Y2O3 para resistência ao entalhe, assim como TiN e CrN para desgaste e condutividade elétrica

Solução Material de revestimento Tecnologia de Revestimento Dureza do revestimento HIT [GPa] Coeficiente de atrito (a seco) em oposição ao aço Temp. máx. de operação [°C] Temperatura do processo [ºC]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0,6 600 < 500

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