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Supports de tranches (Wafers) et socles

Il peut s'agir de produits, tels que BALINIT DYLYN, pour ses propriétés électriques accordables, sa résistance à l'usure et à la contamination. Il peut s'agir encore de Y₂O₃ pour sa résistance au décapage, ou de TiN ET CrN pour leurs propriétés conductrices d'électricité et anti-usure

Solution Coating material Coating technology Dureté du revêtement HIT [GPa]. Coefficient of friction (dry) vs. steel Max. service temp. [°C] Température du procédé [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

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