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半導体ウエハーチャック、軸受け台

製品のひとつに、摩耗や汚染を低減し、電子特性を調整できる BALINIT DYLYN があります。他にも、エッチ耐性をもつ Y₂O₃ や、耐摩耗性と導電性に優れた TiN および CrN があります。

ソリューション	コーティング材	コーティング技術	コーティング硬さH_IT [GPa]	低摩擦係数 (ドライ) 対スチール	最高使用温度 [°C]	処理温度 [°C]
BALINIT DYLYN	a-C:H:Si	PACVD	~ 15-25	0.05 - 0.2	350	< 220	ダウンロードエンジニアリングカーボンベース BALINITコーティング - プラスチック加工の生産性と効率性を向上させる DLCコーティング
BALINIT A	TiN	Arc	30 +/- 3	~0.6	600	< 500

お問い合せ先

エリコンジャパン株式会社　バルザース事業本部; 〒254-0014, 神奈川県平塚市四之宮7-2-2

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